از بسته subfig استفاده کنید:
\documentclass{article}
\usepackage{subfig}
\usepackage{xepersian}
\settextfont{XB Niloofar}
\setcounter{lofdepth}{2}
\begin{document}
\listoffigures
\begin{figure}[ht]
\centering
\subfloat[اولی]{...}\qquad
\subfloat[دومی]{...}\\
\subfloat[سومی]{\label{myfig}...}
\caption{زیرنویس شکلم}
\label{3fig}
\end{figure}
\end{document}
خروجی به شکل زیر خواهد بود:
